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丹東正芯微電子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的邊境城市遼寧丹東。是一家歷史悠久的生產(chǎn)、加工各種半導體工藝設備備品的高新民營企業(yè),是半導體設備國產(chǎn)化的中堅力量。產(chǎn)品應用于美國、日本、臺灣等地區(qū)的半導體設備國產(chǎn)化備件。公司有多位長期從事半導體行業(yè)的工作人員,聘請業(yè)內(nèi)行家作為本公司顧問,并與多家科研單位建立長期合作關(guān)系。


新聞資訊
  • 某芯片制造企業(yè)在生產(chǎn)過程中,曾因注入機離子源配件的穩(wěn)定性不足,導致離子束流波動,影響芯片摻雜精度。企業(yè)技術(shù)團隊通過深入分析,發(fā)現(xiàn)是配件的核心部件燈絲損耗過快所致。
  • 日常維護方面,定期對半導體設備配件進行清潔除塵是基礎工作。由于半導體制造環(huán)境對潔凈度要求極高,灰塵、雜質(zhì)附著可能干擾配件正常運作,需使用專業(yè)無塵工具,按規(guī)范流程進行清理。
  • 丹東半導體設備在設計之初就充分考慮工藝適配性。在離子注入環(huán)節(jié),其設備能夠根據(jù)不同芯片制程對離子束流、注入角度的要求,靈活調(diào)整參數(shù),確保離子均勻注入晶圓,滿足不同工藝節(jié)點的摻雜需求。
  • 在材料適配性方面,丹東離子源配件采用特殊耐高溫、耐腐蝕材質(zhì),能夠在半導體制造的高溫、高真空及強電場環(huán)境下穩(wěn)定運行。例如,其燈絲、弧光室等核心部件的材料,可有效抵御離子束轟擊產(chǎn)生的損耗,減少雜質(zhì)引入風險,保障半導體器件的純凈度。
  • 蒸發(fā)臺坩堝的材質(zhì)選擇是影響薄膜沉積質(zhì)量的重要因素。不同材質(zhì)的坩堝,在耐高溫、抗腐蝕等性能上存在差異。例如,石墨坩堝具有良好的導熱性與化學穩(wěn)定性,適用于多種金屬材料蒸發(fā);但在蒸鍍某些活潑金屬時,若坩堝材質(zhì)與蒸發(fā)材料發(fā)生化學反應,會導致雜質(zhì)混入,影響薄膜純度與性能。

離子源弧光室

蒸發(fā)臺配件

蒸發(fā)臺坩堝

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