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丹東正芯微電子科技有限公司成立于2006年,位于山川秀美的邊境城市遼寧丹東。是一家歷史悠久的生產(chǎn)、加工各種半導(dǎo)體工藝設(shè)備備品的高新民營(yíng)企業(yè),是半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的中堅(jiān)力量。產(chǎn)品應(yīng)用于美國(guó)、日本、臺(tái)灣等地區(qū)的半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化備件。公司有多位長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體行業(yè)的工作人員,聘請(qǐng)業(yè)內(nèi)行家作為本公司顧問(wèn),并與多家科研單位建立長(zhǎng)期合作關(guān)系。


新聞資訊
  • 某芯片制造企業(yè)在生產(chǎn)過(guò)程中,曾因注入機(jī)離子源配件的穩(wěn)定性不足,導(dǎo)致離子束流波動(dòng),影響芯片摻雜精度。企業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)通過(guò)深入分析,發(fā)現(xiàn)是配件的核心部件燈絲損耗過(guò)快所致。
  • 日常維護(hù)方面,定期對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備配件進(jìn)行清潔除塵是基礎(chǔ)工作。由于半導(dǎo)體制造環(huán)境對(duì)潔凈度要求極高,灰塵、雜質(zhì)附著可能干擾配件正常運(yùn)作,需使用專業(yè)無(wú)塵工具,按規(guī)范流程進(jìn)行清理。
  • 丹東半導(dǎo)體設(shè)備在設(shè)計(jì)之初就充分考慮工藝適配性。在離子注入環(huán)節(jié),其設(shè)備能夠根據(jù)不同芯片制程對(duì)離子束流、注入角度的要求,靈活調(diào)整參數(shù),確保離子均勻注入晶圓,滿足不同工藝節(jié)點(diǎn)的摻雜需求。
  • 在材料適配性方面,丹東離子源配件采用特殊耐高溫、耐腐蝕材質(zhì),能夠在半導(dǎo)體制造的高溫、高真空及強(qiáng)電場(chǎng)環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。例如,其燈絲、弧光室等核心部件的材料,可有效抵御離子束轟擊產(chǎn)生的損耗,減少雜質(zhì)引入風(fēng)險(xiǎn),保障半導(dǎo)體器件的純凈度。
  • 蒸發(fā)臺(tái)坩堝的材質(zhì)選擇是影響薄膜沉積質(zhì)量的重要因素。不同材質(zhì)的坩堝,在耐高溫、抗腐蝕等性能上存在差異。例如,石墨坩堝具有良好的導(dǎo)熱性與化學(xué)穩(wěn)定性,適用于多種金屬材料蒸發(fā);但在蒸鍍某些活潑金屬時(shí),若坩堝材質(zhì)與蒸發(fā)材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),會(huì)導(dǎo)致雜質(zhì)混入,影響薄膜純度與性能。

離子源弧光室

蒸發(fā)臺(tái)配件

蒸發(fā)臺(tái)坩堝

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